በአሁኑ ጊዜ ሁለት ዓይነት የተለመዱ የመሳሪያ ሽፋን ዘዴዎች አሉ-የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (ሲቪዲ) እና የአካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (pvd) በአሁኑ ጊዜ. በቅርብ ዓመታት ውስጥ አንዳንድ አዲስ የሽፋን ሂደቶች ታይተዋል, ይህም ጥሩ የትግበራ ተስፋ አለው.
ሲቪዲ

የአቶሚክ ክምችት የሆነው የሲቪዲ ዘዴ በማሞቂያ ማትሪክስ ወለል ላይ በትነት ፣ሃይድሮጂን እና ሌሎች የኬሚካል ንጥረ ነገሮችን በ 950 ~ 1050 ℃ ከፍተኛ የሙቀት መጠን በመጠቀም ጠንካራ የማስቀመጫ ንጣፍን የመፍጠር ዘዴ ነው። ሂደቱ ሶስት እርከኖችን ያካትታል፡ የቁሳቁስ ትነት፣ ወደ ማትሪክስ አካባቢ ማጓጓዝ እና በማትሪክስ ላይ ተደራቢ መፍጠር።
ከሁሉም ዓይነት የሲቪዲ ዘዴዎች መካከል የቫኩም ion ቦምብ እና የማግኔትሮን ion ምላሽ መርጨት በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ። የ cvd ቴክኖሎጂ በዋናነት ለሲሚንቶ ካርቦይድ መቁረጫ መሳሪያዎች ወለል ሽፋን ጥቅም ላይ ይውላል ፣ ይህም ለከፍተኛ ፍጥነት ማሽከርከር እና መካከለኛ እና ከባድ መቁረጥን በከፊል ማጠናቀቅ ተስማሚ ነው።
ከሌሎች የሽፋን ዘዴዎች ጋር ሲነጻጸር, የ cvd ዘዴ ቀላል መሳሪያዎች, የበሰለ ሂደት ጥቅሞች ብቻ ሳይሆን የሚከተሉትን ጥቅሞች አሉት.
በብረታ ብረት, alloys, carbide, nitrides, borides, oxides, ካርቦን nitrides, ኦክስጅን nitrides, ሃይድሮ-ካርቦን nitrides, ወዘተ ጋር ሊሸፈን የሚችል ብዙ ዓይነት ደለል አሉ. ከፍተኛ የመተላለፊያ እና ተመሳሳይነት ባለው ሁኔታ, የተለያዩ ቲሹዎች ያላቸው ባለብዙ ሽፋን ሽፋኖች ሊገኙ ይችላሉ, እና የሽፋኑ ውፍረት አንድ አይነት ነው. የማስቀመጫ መጠን ከፍተኛ እና ለመቆጣጠር ቀላል ነው። ሽፋኑ ከፍተኛ ንፅህና እና ጥቃቅን እና ጥቅጥቅ ያሉ ጥራጥሬዎች አሉት. ጠንካራ ማጣበቂያ ወፍራም ሽፋን ማግኘት ይችላል. ዝቅተኛ የሂደት ዋጋ, ለጅምላ ምርት ተስማሚ.
ፒ.ቪ.ዲ

የ PVD ዘዴ ቁሶችን ከታለመላቸው ምንጮች እንደ በትነት ወይም በትነት ባሉ አካላዊ ቅርጾች ማስወገድ እና ከዚያም እነዚህን ሃይለኛ የእንፋሎት ions በንጥረ ነገሮች ወይም በከፊል ወለል ላይ በማስቀመጥ በቫኩም ወይም ከፊል ቫክዩም ክፍተት በኩል የፊልም ሽፋን ይፈጥራል። የተነፈሱ ወይም የተበተኑ የብረት አተሞች የእንፋሎት ምላሽ በመሳሪያው ወለል ላይ የሚፈለጉትን ውህዶች እንዲቀመጡ ያደርጋል። የፒቪዲ ሽፋን ከቲታኒየም ናይትራይድ ፣ ከቲታኒየም ካርቦን ናይትራይድ ፣ ከአሉሚኒየም የታይታኒየም ናይትሮጂን ውህዶች ፣ እንዲሁም የተለያዩ የካርቦይድ እና ናይትራይድ ተከላካይ ብረቶች ሊሸፈን ይችላል።
የ PVD ቴክኖሎጂ በዋነኝነት ጥቅም ላይ የሚውለው በተዋሃዱ የሲሚንቶ ካርቦይድ መሳሪያዎች እና ከፍተኛ ፍጥነት ያለው መሳሪያ የብረት መሳሪያዎች ላይ ላዩን ህክምና ነው. በሲሚንቶ ካርቦይድ ቢት ፣ ወፍጮ መቁረጫ ፣ ሬመር ፣ መታ ፣ ልዩ ቅርፅ ያለው መሳሪያ ፣ የመገጣጠም መሳሪያ እና የመሳሰሉትን በሽፋን ህክምና በስፋት ጥቅም ላይ ውሏል ።
ኤምቲ-ሲቪዲ

ጥቅጥቅ ባለ ፋይበርስ ክሪስታል ሞርፎሎጂ ያለው tcn ሽፋን በመካከለኛ የሙቀት መጠን የኬሚካል የእንፋሎት ክምችት (MT-CVD) በ 700 ~ 900 ℃ ሊገኝ ይችላል። የሽፋኑ ውፍረት 8 ~ 10μm ሊደርስ ይችላል፣ እና በሲቪዲ ቴክኖሎጂ ላይ ላዩን ንብርብር a2o3、ቲን ሊሆን ይችላል።
የኤምቲ-ሲቪዲ ሽፋን ምላጭ ለከፍተኛ ፍጥነት ፣ ለከፍተኛ ሙቀት ፣ ለትልቅ ጭነት ፣ ለደረቅ የመቁረጥ ሁኔታ ተስማሚ ነው ፣ ህይወቱ ከተለመደው የሽፋን ምላጭ በእጥፍ ያህል ከፍ ያለ ነው። የ cvd ዋናው ዘዴ የመቀየሪያው ሙቀት ከፍተኛ ነው, እና የመሳሪያው መጨፍጨፍ እና መበላሸት የሚከሰተው ከፍተኛ ፍጥነት ያለው መሳሪያ ብረት መሳሪያው በሚሸፍነው ጊዜ ነው. ስለዚህ የተቀመጠው መሳሪያ ማጥፋት አለበት.
የቅጂ መብት © 2026 Yangjiang Yangdong Ruitai Hardware Products Co., Ltd. | ሁሉም መብቶች የተጠበቁ ናቸው።