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PVD 対 CVD — 適切な工具コーティングの選択方法

1月 19, 2038

現在、一般的なツール コーティング方法には、化学蒸着 (cvd) と物理蒸着 (pvd) の 2 種類があります。近年、いくつかの新しいコーティングプロセスが登場しており、適用の見通しが良好です。


CVD

原子堆積に属するCVD法は、950~1050℃の高温で金属ハロゲン化物の蒸気、水素などの化学成分を使用して、加熱マトリックスの表面に固体堆積層を形成する方法です。このプロセスには、材料の気化、マトリックス付近への輸送、マトリックス上のオーバーレイの形成の 3 つの段階があります。 


あらゆる種類の CVD 法の中で、真空イオンボンバードメントとマグネトロン イオン反応スプレーが最もよく使用されます。 cvd 技術は、主に超硬切削工具の表面コーティングに使用され、中切削および重切削の高速荒加工および中仕上げ加工に適しています。


他のコーティング方法と比較して、cvd 方法には単純な設備、成熟したプロセスという利点があるだけでなく、次の利点もあります。


堆積物には多くの種類があり、金属、合金、炭化物、窒化物、ホウ化物、酸化物、窒化炭素、酸素窒化物、炭化水素窒化物などでコーティングできます。 高い浸透性と均一性により、異なる組織の多層コーティングを得ることができ、コーティングの厚さは均一です。 堆積率が高く、制御が容易です。 コーティングは高純度で粒子が細かく緻密です。 強力な密着力でより厚い塗膜が得られます。 プロセスコストが低く、大量生産に適しています。 


PVD

PVD 法は、蒸発やスパッタリングなどの物理的形態によってターゲット ソースから材料を除去し、これらのエネルギー蒸気イオンを基板または部品表面に堆積させて、真空または半真空空間を通して膜層を形成します。蒸発またはスパッタされた金属原子の蒸気反応により、必要な化合物がツール表面に堆積します。 pvdコーティングは、窒化チタン、チタンカーボンナイトライド、アルミニウムチタン窒素化合物、および炭化物と窒化物のさまざまな高融点金属でコーティングできます。

PVD 技術は、主に一体型超硬工具および高速度工具鋼工具の表面処理に使用されます。超硬ビット、フライス、リーマ、タップ、異形工具、溶接工具などのコーティング処理に幅広く使用されています。


MT-CVD

緻密な繊維状結晶形態を持つ tcn コーティングは、700 ~ 900℃の中温化学蒸着 (MT-CVD) によって得ることができます。コーティングの厚さは8~10μmに達することができ、CVD技術により表面層にa2o3、スズにすることができます。

MT-CVDコーティングブレードは、高速・高温・高負荷・ドライカット条件に適しており、通常のコーティングブレードの約2倍の寿命があります。この方法の主な欠点は、溶着温度が高く、高速度工具鋼工具をコーティングするときに工具のアニーリングと変形が発生することです。そのため、堆積したツールを急冷する必要があります。


基本情報
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