Tá dhá chineál de mhodhanna coiteanna brataithe uirlisí ann: sil-leagan ceimiceach gaile (cvd) agus sil-leagan fisiceach gaile (pvd) faoi láthair. Le blianta beaga anuas, tá roinnt próisis sciath nua le feiceáil, a bhfuil ionchas maith iarratais ann.
CVD

Is modh é modh CVD, a bhaineann le sil-leagan adamhach, chun ciseal soladach sil-leagan a fhoirmiú ar dhromchla an mhaitrís téimh trí úsáid a bhaint as gal, hidrigin agus comhpháirteanna ceimiceacha eile de hailíd miotail ag teocht ard 950 ~ 1050 ℃. Áirítear leis an bpróiseas trí chéim: galú ábhar, iompar go dtí an chomharsanacht maitrís agus foirmiú forleagan ar an maitrís.
I measc gach cineál modhanna cvd, is iad bombardú ian bhfolús agus spraeáil imoibrithe ian magnetron an chuid is mó a úsáidtear. Úsáidtear teicneolaíocht cvd go príomha le haghaidh sciath dromchla uirlisí gearrtha chomhdhúile cementáilte, atá oiriúnach le haghaidh garbhú ardluais agus leathchríochnú gearrtha meánach agus trom.
I gcomparáid le modhanna sciath eile, ní hamháin go bhfuil na buntáistí a bhaineann le trealamh simplí, próiseas aibí, ach freisin na buntáistí seo a leanas:
Tá go leor cineálacha dríodar ann, is féidir a bheith brataithe le miotail, cóimhiotail, cairbídí, nítrídí, bórídí, ocsaídí, nítrídí carbóin, nítrídídí ocsaigine, nítrídídí hidreacarbóin, etc.: Le tréscaoilteacht ard agus aonfhoirmeacht, is féidir bratuithe ilchiseal le fíocháin éagsúla a fháil, agus tá an tiús sciath aonfhoirmeach. Tá an ráta taisce ard agus éasca le rialú. Tá ard-íonacht ag an sciath agus gráin mhín agus dlúth. Is féidir le greamaitheacht láidir sciath níos tiús a fháil. Costas próiseas íseal, oiriúnach le haghaidh táirgeadh mais.
PVD

Is é modh PVD ná ábhair a bhaint as spriocfhoinsí trí fhoirmeacha fisiceacha mar ghalú nó sputtering, agus ansin na hiain ghal fuinniúla seo a thaisceadh ar an tsubstráit nó ar an gcuid dromchla chun ciseal scannáin a fhoirmiú trí spás bhfolús nó leathfholús. Fágann imoibriú gaile na n-adamh miotail galaithe nó sputtered go sil-leagann na comhdhúile riachtanacha ar dhromchla an uirlis. is féidir sciath pvd a bheith brataithe le nítríde tíotáiniam, nítríd charbóin tíotáiniam, comhdhúile nítrigine tíotáiniam alúmanaim, chomh maith le miotail teasfhulangacha éagsúla cairbídí agus nítríd.
Úsáidtear teicneolaíocht PVD go príomha i gcóireáil dromchla uirlisí chomhdhúile cementáilte lárnacha agus uirlisí cruach uirlisí ardluais. Úsáidtear go forleathan é i gcóireáil sciath giotán chomhdhúile cementáilte, gearrthóir muilleoireachta, reamer, sconna, uirlis speisialta-chruthach, uirlis táthú agus mar sin de.
MT-CVD

Is féidir an sciath tcn le moirfeolaíocht dhian neamhshnáithíneach criostalach a fháil trí thaisceadh gaile ceimiceach teocht mheánach (MT-CVD) ag 700 ~ 900 ℃. Is féidir leis an tiús sciath 8~10μm a bhaint amach, agus is féidir é a2o3 、 stáin ar an gciseal dromchla ag teicneolaíocht cvd.
Tá lann sciath MT-CVD oiriúnach le haghaidh ardluais, teocht ard, ualach mór, coinníollacha gearrtha tirim, tá a shaol thart ar dhá uair chomh hard le gnáth-lann sciath. Is é príomh-mhíbhuntáiste cvd an mhodha ná go bhfuil an teocht taisce ard, agus go dtarlóidh anáil agus dífhoirmiú an uirlis nuair a bhíonn an uirlis cruach uirlis ardluais brataithe. Mar sin ní mór an uirlis taiscthe a mhúchadh.
Cóipcheart © 2026 Yangjiang Yangdong Ruitai Hardware Products Co., Ltd. | Gach ceart ar cosaint