វិធីសាស្រ្តថ្នាំកូតឧបករណ៍ទូទៅមានពីរប្រភេទ៖ ការទម្លាក់ចំហាយគីមី (cvd) និងការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ (pvd) នាពេលបច្ចុប្បន្ន។ ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ ដំណើរការស្រោបថ្មីមួយចំនួនបានលេចចេញមក ដែលមានការរំពឹងទុកនៃកម្មវិធីល្អ។
CVD

វិធីសាស្រ្ត CVD ដែលជាកម្មសិទ្ធិរបស់ការទម្លាក់អាតូម គឺជាវិធីសាស្រ្តនៃការបង្កើតស្រទាប់កំណករឹងលើផ្ទៃនៃម៉ាទ្រីសកំដៅ ដោយប្រើចំហាយទឹក អ៊ីដ្រូសែន និងសមាសធាតុគីមីផ្សេងទៀតនៃលោហៈ halide នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ 950 ~ 1050 ℃។ ដំណើរការនេះមានបីដំណាក់កាល៖ ការបំភាយសម្ភារៈ ការដឹកជញ្ជូនទៅកាន់តំបន់ជុំវិញម៉ាទ្រីស និងការបង្កើតស្រទាប់លើម៉ាទ្រីស។
ក្នុងចំណោមវិធីសាស្រ្ត cvd គ្រប់ប្រភេទ ការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងសុញ្ញកាស និងការបាញ់ថ្នាំប្រតិកម្មអ៊ីយ៉ុងម៉ាញេទិកត្រូវបានប្រើប្រាស់ច្រើនបំផុត។ បច្ចេកវិទ្យា cvd ត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការស្រោបលើផ្ទៃនៃឧបករណ៍កាត់ស៊ីម៉ងត៍ carbide ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់ការកាត់រដុបដែលមានល្បឿនលឿន និងការកាត់ពាក់កណ្តាលមធ្យម និងធ្ងន់។
បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងវិធីសាស្រ្តថ្នាំកូតផ្សេងទៀត វិធីសាស្ត្រ cvd មិនត្រឹមតែមានគុណសម្បត្តិនៃឧបករណ៍សាមញ្ញ ដំណើរការចាស់ទុំប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏មានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោមៈ
មានដីល្បាប់ជាច្រើនប្រភេទ ដែលអាចស្រោបដោយលោហធាតុ យ៉ាន់ស្ព័រ កាបូអ៊ីដ្រាត នីត្រាត បូរីត អុកស៊ីដ កាបូននីត្រាត អុកស៊ីហ្សែននីត្រាត អ៊ីដ្រូកាបូននីត្រាត។ល។ ជាមួយនឹងភាពជ្រាបចូលខ្ពស់ និងឯកសណ្ឋាន ថ្នាំកូតពហុស្រទាប់ដែលមានជាលិកាផ្សេងៗគ្នាអាចទទួលបាន ហើយកម្រាស់ថ្នាំកូតគឺឯកសណ្ឋាន។ អត្រានៃការដាក់ប្រាក់គឺខ្ពស់ និងងាយស្រួលក្នុងការគ្រប់គ្រង។ ថ្នាំកូតមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងគ្រាប់ធញ្ញជាតិល្អ និងក្រាស់។ ការស្អិតខ្លាំងអាចទទួលបានថ្នាំកូតក្រាស់។ តម្លៃដំណើរការទាប សមរម្យសម្រាប់ផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ។
PVD

វិធីសាស្រ្ត PVD គឺដើម្បីយកវត្ថុធាតុចេញពីប្រភពគោលដៅដោយទម្រង់រូបវន្ត ដូចជាការហួត ឬការហៀរសំបោរ ហើយបន្ទាប់មកដាក់អ៊ីយ៉ុងចំហាយដ៏ស្វាហាប់ទាំងនេះទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ឬផ្ទៃផ្នែកដើម្បីបង្កើតស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តតាមរយៈចន្លោះទំនេរ ឬពាក់កណ្តាលទំនេរ។ ប្រតិកម្មចំហាយនៃអាតូមដែកដែលហួត ឬហុយ នាំទៅដល់ការបំប្លែងសមាសធាតុដែលត្រូវការលើផ្ទៃឧបករណ៍។ ថ្នាំកូត pvd អាចត្រូវបាន coated ជាមួយ titanium nitride, titanium carbon nitride, សមាសធាតុអាលុយមីញ៉ូ titanium nitride ក៏ដូចជា លោហៈ refractory ជាច្រើននៃ carbides និង nitrides ។
បច្ចេកវិទ្យា PVD ត្រូវបានប្រើជាចម្បងក្នុងការព្យាបាលលើផ្ទៃនៃឧបករណ៍ស៊ីម៉ង់ត៍ស៊ីម៉ងត៍ និងឧបករណ៍ដែកដែលមានល្បឿនលឿន។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការព្យាបាលថ្នាំកូតនៃស៊ីម៉ងត៍ carbide bit, ម៉ាស៊ីនកាត់, reamer, ម៉ាស៊ីន, ឧបករណ៍រាងពិសេស, ឧបករណ៍ផ្សារជាដើម។
MT-CVD

ថ្នាំកូត tcn ជាមួយនឹង morphology គ្រីស្តាល់ fibrous ក្រាស់អាចទទួលបានដោយការទម្លាក់ចំហាយគីមីសីតុណ្ហភាពមធ្យម (MT-CVD) នៅ 700 ~ 900 ℃។ កម្រាស់ថ្នាំកូតអាចឡើងដល់ 8 ~ 10μm និងអាចជាសំណប៉ាហាំង a2o3 នៅលើស្រទាប់ផ្ទៃដោយបច្ចេកវិទ្យា cvd ។
កាំបិតថ្នាំកូត MT-CVD គឺសមរម្យសម្រាប់ល្បឿនលឿន សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការផ្ទុកធំ លក្ខខណ្ឌនៃការកាត់ស្ងួត អាយុកាលរបស់វាគឺប្រហែលពីរដងខ្ពស់ជាងផ្លិតថ្នាំកូតធម្មតា។ គុណវិបត្តិចម្បងនៃវិធីសាស្ត្រ cvd គឺថា សីតុណ្ហភាពនៃការដាក់ចេញគឺខ្ពស់ ហើយការស្រោប និងការខូចទ្រង់ទ្រាយឧបករណ៍នឹងកើតឡើងនៅពេលដែលឧបករណ៍ដែកដែលមានល្បឿនលឿនត្រូវបានស្រោប។ ដូច្នេះឧបករណ៍ដែលបានដាក់ត្រូវតែត្រូវបានពន្លត់។
រក្សាសិទ្ធិ © 2026 Yangjiang Yangdong Ruitai Hardware Products Co., Ltd. | រក្សាសិទ្ធិគ្រប់យ៉ាង