Ду намуди маъмули пӯшонидани асбобҳо мавҷуданд: дар айни замон таҳшиншавии буғи химиявӣ (cvd) ва таҳшиншавии буғи физикӣ (pvd). Дар солҳои охир, баъзе равандҳои нави пӯшиш пайдо шуданд, ки дурнамои хуби татбиқ доранд.
CVD

Усули CVD, ки ба таҳшиншавии атомӣ тааллуқ дорад, як усули ташаккули қабати таҳшинии сахт дар сатҳи матритсаи гармкунӣ бо истифода аз буғ, гидроген ва дигар ҷузъҳои кимиёвии галогени металлӣ дар ҳарорати баланди 950 ~ 1050 ℃ мебошад. Раванд аз се марҳила иборат аст: бухоршавии мавод, интиқол ба наздикии матритса ва ташаккули қабати болои матритса.
Дар байни ҳама гуна усулҳои cvd, бомбаборони ионҳои вакуумӣ ва пошидани реаксияи ионҳои магнетронӣ бештар истифода мешаванд. Технологияи cvd асосан барои пӯшонидани сатҳи асбобҳои буриши карбиди сементшуда истифода мешавад, ки барои ноҳамвор суръати баланд ва нимтайёркунии буридани миёна ва вазнин мувофиқ аст.
Дар муқоиса бо дигар усулҳои пӯшиш, усули cvd на танҳо бартариҳои таҷҳизоти оддӣ, раванди пухта, балки бартариҳои зеринро низ дорад:
Намудҳои зиёди таҳшинҳо мавҷуданд, ки онҳоро бо металлҳо, хӯлаҳо, карбидҳо, нитридҳо, боридҳо, оксидҳо, нитридҳои карбон, нитридҳои оксиген, нитридҳои гидрокарбон ва ғайра пӯшонида метавонанд: Бо гузариши баланд ва якрангӣ, қабатҳои бисёрқабата бо бофтаҳои гуногун ба даст овардан мумкин аст ва ғафсии рӯйпӯш яксон аст. Меъёри пасандозҳо баланд аст ва назорат кардан осон аст. Сарпӯш дорои тозагии баланд ва донаҳои майда ва зич дорад. Пайвастшавии қавӣ метавонад қабати ғафсро ба даст орад. Арзиши пасти раванд, мувофиқ барои истеҳсоли омма.
ПВД

Усули PVD ин хориҷ кардани маводҳо аз манбаъҳои мавриди ҳадаф тавассути шаклҳои физикӣ ба монанди бухоршавӣ ё пошидан ва пас аз он гузоштани ин ионҳои буғи энергетикӣ ба субстрат ё сатҳи қисм барои ташаккул додани қабати филм тавассути фазои вакуумӣ ё нимвакуумӣ мебошад. Реаксияи буғи атомҳои металлии бухоршуда ё пошидашуда боиси дар сатҳи асбоб ҷойгир шудани пайвастагиҳои зарурӣ мегардад. пвдро бо нитриди титан, нитриди карбон титан, пайвастагихои нитрогени титани титан, инчунин металлхои гуно-гуни оташ тобовари карбидхо ва нитридхо пушондан мумкин аст.
Технологияи PVD асосан дар коркарди сатҳи асбобҳои карбиди сементшудаи интегралӣ ва асбобҳои пӯлоди асбоби баландсуръат истифода мешавад. Он дар коркарди пӯшонидани карбиди сементшуда, фрезер, реамер, кран, асбоби махсусшакл, асбоби кафшер ва ғайра васеъ истифода мешавад.
MT-CVD

Сарпӯши tcn бо морфологияи кристаллии зиччи нахдорро тавассути таҳшини буғи химиявии ҳарорати миёна (MT-CVD) дар 700 ~ 900 ℃ ба даст овардан мумкин аст. Ғафсии рӯйпӯш метавонад ба 8 ~ 10 мкм расад ва аз рӯи технологияи cvd дар қабати рӯизаминӣ a2o3, тин бошад.
Майсаи пӯшиши MT-CVD барои суръати баланд, ҳарорати баланд, сарбории калон, шароити буридани хушк мувофиқ аст, мӯҳлати он нисбат ба майсаи оддии рӯйпӯш тақрибан ду маротиба зиёдтар аст. Камбудии асосии cvd ин усул дар он аст, ки ҳарорати таҳшиншавӣ баланд аст ва ҳангоми пӯшонидани асбоби пӯлоди асбоби баландсуръат таҳшин ва деформатсия ба амал меояд. Пас, асбоби гузошташуда бояд хомӯш карда шавад.
Copyright © 2026 Yangjiang Yangdong Ruitai Hardware Products Co., Ltd. | Ҳамаи ҳуқуқ маҳфуз аст